产品介绍：
KJ-T1200-S60K-4C型四路高温真空CVD设备由KJ-T1200滑动式快速退火管式炉+真空系统+供气系统组成 ，最高温度可以达到1200度，极限真空可以达到10-3Pa，供气系统是流量调节可以是质子流量计，可以对多种气体进行精确的混气，然后导入到管式炉内部。
KJ-T1200-S60K-4C系列快速退火炉炉管两端安装真空法兰，真空度用分子泵可以到10-5Torr，机械泵可到10-3Torr。炉底安装一对滑轨，可用手动滑动。加热和冷却速率最大可达100°C/m。为取得最快加热，可以预先加热炉子到设定的温度，然后移动炉子到样品位置。为获得最快冷却，可在样品加热后移动炉子到另一端。加热和冷却速率在真空或者惰性气体环境下可以达到10°C/s，是低成本快速热处理的理想炉子。
应用范围：
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KJ-T1200-S60K-4C型四路高温真空CVD设备是一种特殊的高真空CVD系统，是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火用的理想产品。
规格参数：
| 产品名称 | 四路高温真空CVD设备 |
| 产品型号 | KJ-T1200-S60K-4C |
| 工作温度 | 1100°C |
| 最高温度 | 1200°C |
| 加热速率 | 建议：0- 10°C/min {最大：0-20℃/min} |
| 加热区 | 三温区 |
| 加热区长度 | 200+350+200mm |
| 控温精度 | ±1°C |
| 炉管直径 | OD60mm |
| 炉管长度 | 大约1200mm-1400mm |
| 真空法兰 | 两个不锈钢密封法兰，法兰上已经安装数字式真空显示计，和阀门通过机械泵真空压力可以达到5x10-2 torr，泄漏率最大6 mtorr/min |
| 温控 | 智能PID多段程序控温 |
| 加热曲线 | 30段可编程 |
| 功率 | 4KW |
| 电压 | 220V，50HZ，单相 |
| 质子流量计 | 4路精密质子流量计：数字显示、气体流量自动控制。
MFC 1范围: 0~100 sccm
MFC 2范围: 0~200 sccm
MFC 3范围: 0~200 sccm
MFC 4范围: 0~500 sccm
气路:4路
流量精度: 0.2%
进气和出气接口: 1/4" 卡套
一个混气罐。
每路气路都有一个独立的不锈钢针阀控制。
通过控制面板上的旋钮来调节气体流量。 |
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标准配件：
质子混气系统1台、双旋机械泵1台、K型热电偶1支、气炼石英炉管1根、不锈钢法兰1套、不锈钢炉钩1、刚玉炉塞2对、高温手套1副、刚玉坩埚2个、氢气检漏器1个、说明书1份
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注：坩埚可按用户需求选配合适的款型