产品描述：
化学气相沉积设备，是由KJ-T1200单温区管式炉、真空系统、质子流量计、射频电源系统系统组成,主要用于石墨烯生长等研究。
技术参数：
产品名称 | 化学气相沉积设备(CE认证) |
管式炉部分 |
产品型号 | KJ-1200-S6014LK1-H |
炉管尺寸 | Φ60mmX1400mm |
工作温度 | 1100℃ |
最高温度 | 1200℃ |
温控方式 | K型热电偶 |
温控系统 | 30段PID微电脑可编程自动控制（用户可选配液晶触摸屏显示） |
温控精度 | ±1℃ |
温控保护 | 具有超温和断偶保护功能 |
最快升温速率 | 30oC/M |
加热元件 | 含钼电阻丝 |
工作电压 | AC 220V 单相 50HZ （电路电压用户可选择定制） |
最大功率 | 3KW |
炉膛材料 | 氧化铝多晶纤维 |
密封系统 | 该炉炉管与法兰之间采用硅胶O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸，气密性好可保证12小时压力表指针不偏转。 |
炉 管 | 石英炉管 |
炉壳温度 | ≤45℃ |
真空系统部分 |
名称 | 高真空分子泵 |
主要参数 | 高真空分子泵组，高真空复合真空计 前级泵2升每秒，分子泵600升每秒 采用KF25系列波纹管和真空挡板阀连接 |
真空显示 | 复合真空计 |
冷却系统 | 循环水冷机 |
气路系统部分 |
名称 | 3路质子流量计 |
型号 | D07-26 |
主要参数 | 基准源：+5.00V±0.1% 10mA~供电源220V±10% 50Hz |
射频器部分 |
名称 | 射频自动匹配器 |
匹配功率范围 | 0-500W |
工作频率： | 13.56MHZ |
正常工作反射功率 | ＜3W |
匹配时间 | ＜3S |
传输效率 | ＞90% |
匹配器电源 | AC220V/50-60HZ |
输入连接器 | N型 |
输出连接器 | UHF |
控制模式 | 手动/自动 |
可设预置点数 | 7 |
匹配阻抗范围 | 实部0-80Ω 虚部-j200-j200(可根据负载调节阻抗) |
匹配器尺寸 | 340X230X130 MM |
整机重量 | 5.5KG |
说明：1、本产品的规格参数仅供参考，以具体产品实际参数为准，请与销售及咨询客服人员。
2、产品图片及外观尺寸在不断研发更新中、如有更改恕不另行通知。
3、除标准产品外、我公司可根据客户要求，进行设计生产，具体与销售人员联系
联系电话：