供应德国原装扩散,PE炉体,并提供国产炉体定做。
◆工作温度: 300~1200℃
◆有效口径根据用户扩散片确定,可订制
◆恒温区长度: 920mm-1350mm(可根据用户要求定制)
◆温区精度 (静态闭管测试):
600℃<工作温度<1200℃: ±0.5℃
300℃≤工作温度≤600℃: ±1℃
◆单点温度稳定性(静态闭管测试):
600℃<工作温度<1200℃: ±0.5℃/24h
300℃≤工作温度≤600℃: ±1℃/24h
◆温度斜变能力:
最大可控升温速度(300~1300℃):15℃/min
最大降温速度(1300~900℃): 5℃/min
◆气体流量设定精度: ±0.5%FS
◆气路系统气密性: 1×10-7pa.m3/s