一、超纯水设备：
超纯水设备是采用预处理、反渗透技术、超纯化处理以及后级处理等方法，将水中的导电介质几乎完全去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水处理设备。
超纯水系统设备的脱盐核心部件为进口反渗透膜组件，超纯水系统设备通常由预处理部分，反渗透主机部分，后处理部分共同组成。
1、预处理由石英砂过滤器、活性碳过滤器、全自动软水器、精密过滤器组成，也可选用超滤系统作为预处理，但通常工程造价要高。预处理主要目的是去除原水中含有的泥沙，铁锈、胶体物质、悬浮物、色度、异味、生化有机物。当原水中硬度较高时，可选择全自动软水器，这样有效的保护了反渗透膜，从而延长了反渗透膜的使用寿命。
2、后处理部分是对反渗透制取的纯水作进一步的深化处理以制取超纯水，通常是离子交换混床设备或EDI设备，根据客户要求，出水阻率可达到18.2MΩ.CM，如果是应用在直饮水工艺上，则加上杀菌装置即可，通常为紫外线杀菌器或者臭氧发生器，从而使生产出来的水达到直饮标准。
二、工艺种类
1、离子交换方式：
流程：原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→阳树脂过滤床→阴树脂过滤床→阴阳树脂混床→微孔过滤器→用水点
（1）间歇式离子交换：
这种操作方式是将离子交换树脂和待处理的原水混合加以适当搅拌，基本达到交换平衡，使平衡后的水质满足设计需求。此方式通常用于小型生产或实验需要。
（2） 固定床离子交换：
是一种最常用的离子交换方式，是将离子交换树脂置于交换柱内，被处理的原水以一定流速流经树脂床层，达到交换目的。此方式设备简单，操作方便，实用于各种规模的生产，但是其树脂的利用率较低，再生费用较高。
2、双级反渗透方式
流程： 原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→一级反渗透 →PH调节→中间水箱→二级反渗透→纯水箱→纯水泵→微孔过滤器→用水点。
3、EDI方式
(1)EDI巧妙地将电渗析技术和离子交换技术相融合，通过阴、阳离子交换膜对阴、阳离子的选择性透过作用与离子交换树脂对离子的交换作用，在直流电场的作用下实现离子的定向迁移，从而完成水的深度除盐，同时水电离解产生的氢离子和氢氧根离子对离子交换树脂进行再生，因此不需酸碱化学再生而能连续制取超纯水。
(2)流程： 原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→一级反渗透主机→中间水箱→中间水泵→EDI系统→微孔过滤器→用水点
(3)优点：
1.离子交换树脂的用量少，约相当于传统离子交换法树脂用量的5%。
2.离子交换树脂不需酸，碱化学再生，节约大量酸、碱和清洗用水，大大降低劳动强度。
3.无废酸、废碱液排放，是清洁的生产技术，属环保产品。
4.过程易实现自动控制，产水水质稳定，与RO等水处理技术相结合，能形成完善的纯水、超纯水生产线。
5.产水水质高，可达到国家电子级水I级标准，电阻率为15~18MΩ?cm，细菌内毒素 含量小于0.1mg/L可完全满 足《中国药典》《美国药典》对药用水的要求。
6.有优异的除弱解离物质(如二氧化碳、硅、硼、氨等)地能力，更适用于超纯水的需要。
7.纯水生产过程连续进行，无需像离子交换床那样一套在用一套再生地重复设置